点沙成晶:芯片制造光刻技术有多难?
  2022/11/30 1:52:34
  
  按照中芯国际目前的自行研发进度,2021年量产7nm,这时和主流的3nm相差1代。而ASML后续能卖几台EUV还不知道,最最乐观估计,如果贸易“顺利”。2022年中芯国际拿到最先进量产3nmEUV设备,台积电、三星都拿到ASML的2nm,大陆的半导体制程与大陆外仍将保1代的差距。中芯国际2019年底量产了14nm工艺,2020年初实现改进型的12nm工艺,正在研发7nm和改进型6nm工艺。中芯国际14nm芯片工艺正式量产,极大的缓解国产芯片在制造领域的困境。对此,很多网友或许就要表示疑问了,目前中芯国际并没有相关的高端EUV光刻机设备,也能够攻克7nm芯片工艺的难题吗?其实我们回顾台积电在7nm芯片工艺的发展史,就能够看到,当前芯片工艺上有4次技术迭代,原始的工艺N,低功耗的N+1、高性能的N+2、使用EUV工艺的N+3”,前3代的7nm芯片工艺都没有使用高端EUV光刻机设备,唯独N+3使用了EUV工艺,所以对于很多小伙伴们所关心的问题,没有EUV光刻机设备,中芯国际同样也能够进入到7nm芯片工艺时代。梁孟松博士表示,在当前的环境下,N+1、N+2代工艺都不会用EUV工艺,等到设备就绪之后,N+2之后的工艺才会转向EUV光刻工艺。对此,很多网友也更是纷纷表示:“中国第二个“台积电”要诞生了。”

  当然,中国也有自己的光刻机企业,但是由于起步晚、积累薄弱、管理混乱,多数处于依靠政府补贴的混饭状态,与国外的差距巨大。作为国内光刻设备的龙头企业,上海微电子装备(SMEE)2019年最先进的光刻设备也只能提供最高90mn的落后工艺技术,而该企业曾经混乱的管理、无为的理念实在让人堪忧。但是2020年6月10日消息称上海微电子装备(集团)股份有限公司实现第一台科技杂谈nm工艺的国产沉浸式光刻机。国产光刻机将从此前的90nm工艺一举突破到科技杂谈nm工艺。还有合肥芯硕半导体、无锡影速半导体等企业,2019年也只能提供最高200mn的超级落后工艺。目前国家也在针对光刻机领域进行重点突破,中国若能近期自主掌握科技杂谈nm技术,这是一个重要的台阶,达到这个水平后,利用后发优势必然有所突破。
  另外,用于光刻机的固态深紫外光源也在研发,我国的光刻机研发是并行研发的。还有电子束直写光刻机,纳米压印设备,极紫外光刻机技术也在研发。对光刻胶升级,对折射液升级,并且利用套刻方法可以到14nm甚至7nm的水平。相应的升级的用的光刻胶,第3代折射液等也在相应的研发中。EUV技术方面,国内获得EUV投影光刻22nm线宽的光刻胶曝光图形。

  从技术突破到真正的商用,到量产仍有很长的一段距离。但是,如果我们不想被卡脖子,就必须敢啃这块硬骨头。
 [1] [2] [3] [4] [5]

相关文章(向右看)..

·相关
关于热寂理论错误的证伪性的假想/图
飞机突破音速:瞬间即逝的精彩壮观/图
壮观震撼:最新地球真彩照艳惊全球/图
常见互联网蜘蛛和垃圾爬虫的屏蔽/图
终极悲哀的热寂理论错了吗?/图
C4D封闭任何异形空洞方法不需要/图
WIN10蓝牙不能控制音箱音量解/图
旷世仙景:宇宙神掌托起巨大粲烂光/图
图:火星发现绵延数十公里巨大冰川/图
虚拟世界U3d和虚幻谁主沉浮?/图

·热点